采用(yòng)高分(fèn)辨率成像的明暗场晶圆表面(miàn)检测(cè),基于图像(xiàng)算法、检测模型和良品异常检测三(sān)种模式,检出晶圆表面缺陷,并提供数(shù)据统(tǒng)计(jì)分(fèn)析
2D检(jiǎn)测精确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检率(lǜ)
ppm
≤50
先进算法储备
AI大模型与小模型融合,支持基于良品和不良(liáng)品的模型训练(liàn)方式,支持基于大模型的智慧标注和样本生成(chéng),解决样本不均衡场景下(xià)的快速上线,支持增量学习模式(shì),控制样本集规模,提高(gāo)模型迭(dié)代速度,支持并(bìng)行、并发的处理(lǐ)模式
数据统计和分析功能
用于检测和生产过程中的数据统计,提供多(duō)种看板模版;针对指定缺陷种类或者指定时间段(duàn),提供多种良(liáng)率统计(jì)方式;提供多种数据(jù)保存接口,生产过程可追溯;针对工业场景特点,支(zhī)持灵活自由配置显示(shì)单元、统计指标、结果查(chá)询、导出(chū)、上传逻辑;集成统一、可视化的多机位(wèi)硬件接口调试工(gōng)具,使(shǐ)调(diào)试过程更(gèng)加便捷
算法(fǎ)特色
在复杂背景影(yǐng)像中。我(wǒ)们(men)依然可(kě)以将污染正确检出(chū);可以(yǐ)将特定(dìng)特征瑕疵给予消除; 自动产生(shēng)针痕屏蔽。消(xiāo)除针痕位置,抓取(qǔ)针痕外的瑕疵