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晶圆(yuán)检测设(shè)备(bèi)

产品简介

采用(yòng)高分(fèn)辨率成像的明暗场晶圆表面(miàn)检测(cè),基于图像(xiàng)算法、检测模型和良品异常检测三(sān)种模式,检出晶圆表面缺陷,并提供数(shù)据统(tǒng)计(jì)分(fèn)析

2D检(jiǎn)测精确度
um

1

UPH
pcs/h

60

漏检率(lǜ)
ppm

≤50

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